Edwards Group Limited (NASDAQ: EVAC), fabricant de premier plan de
produits complexes de technologie du vide, de systèmes de traitement de
rejets gazeux et fournisseur mondial de services, doit fournir la pompe
turbo moléculaire EXT75DX à Granville-Phillips® , partie
intégrante de son système « Vacuum Quality Monitor (VQM?) 835 » Le
système de pompe différentielle (SPD) VQM 835 fournit de l?information
en temps réel qui peut être utilisée pour optimiser le dépôt physique en
phase vapeur, l?implantation d’ions, la gravure par ions réactifs et
tout processus dépendant du vide, particulièrement la fabrication
d?équipement solaire et de semi-conducteurs, et aussi pour la
surveillance et le diagnostic d?un système de vide dans une vaste gamme
d?autres processus de vide, de revêtement en couches minces, la
recherche, la physique des hautes énergies ou d?autres applications où
une compréhension précise de l?environnement sous vide est essentielle.
(Photo: Business Wire) Granville-Phillips’ 835 VQM Differential Pump System including EXT turbomolecular pump from Edwards
Edwards a collaboré avec Granville-Phillips, qui fait partie de Brooks
Automation Inc., sur le SPD VQM835, un outil de diagnostic utilisé pour
surveiller la qualité de l?environnement sous vide dans divers systèmes.
Une différence de pression entre la chambre à vide et la jauge VQM est
obtenue en limitant la conductance du senseur par l?utilisation d?un
orifice dans le système de vanne d?entrée et en pompant le senseur avec
une turbopompe. Ceci permet au SPD VQM de surveiller la qualité du vide
d?un système à des pressions entre 3 Torr et 5×10-9 Torr.
Les raisons clés pour lesquelles Granville-Phillips a sélectionné la
turbopompe EXT75DX d?Edwards étaient l?absence de contaminants à vide
très poussés, les faibles vibrations engendrées par la pompe, sa
tolérance à haute pression au refoulement, sa faible consommation
d?énergie et sa compacité.
Ce qui a été crucial dans le processus de prise de décision de
Granville-Phillips, c?est qu?Edwards était en mesure de fournir un
produit qui soit résistant et fiable, conformément à son programme GUTS®
(Guaranteed Up Time Support), afin d?assurer une performance fiable pour
ses clients utilisant le système.
David Steele, Responsable Marketing du segment de Marché chez Edwards, a
commenté : « La conception innovante du VQM le place à part dans les
outils conventionnels d?analyse de gaz. Edwards s?engage à fournir le
système de vide de haute qualité à Granville-Phillips avec les bonnes
performances au bon prix. »
Pour de plus amples renseignements sur les produits Edwards, veuillez
visiter www.edwardsvacuum.com.
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être considéré comme officiel. La seule version du communiqué qui fasse
foi est celle du communiqué dans sa langue d?origine. La traduction
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